中空顯微掃描平臺采用直線電機(jī)驅(qū)動或直驅(qū)技術(shù),如某些二維掃描位移臺,這種驅(qū)動方式能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高速度的運(yùn)動控制。通過準(zhǔn)確的電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動平臺的移動部件,使被觀察物體或者光學(xué)元件按照預(yù)設(shè)的軌跡進(jìn)行掃描運(yùn)動。例如在一些需要二維運(yùn)動的設(shè)備和應(yīng)用中,該平臺可以在X和Y方向上準(zhǔn)確地移動樣本或鏡頭,以完成掃描操作。
信號采集與成像協(xié)同:當(dāng)平臺帶動樣品處于不同位置時(shí),配合相應(yīng)的顯微鏡(如掃描電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡等),利用其特定的成像原理對樣品進(jìn)行觀測。以掃描電子顯微鏡為例,電子束經(jīng)聚光鏡聚焦后形成納米級光斑,借助掃描線圈對樣品表面進(jìn)行逐點(diǎn)掃描,激發(fā)出二次電子、背散射電子等各種信號,這些信號被收集、放大后用于形成圖像,從而反映出樣品的表面微觀形貌、成分分布等信息;而掃描探針顯微鏡則是通過一個精細(xì)的探針在樣品表面進(jìn)行掃描,檢測原子之間的相互作用力來獲取樣品表面的形貌信息。
定位與重復(fù)性保證:平臺通常配備有高性能的控制器,可實(shí)現(xiàn)位置記憶、位置觸發(fā)等功能,能夠準(zhǔn)確地回到之前設(shè)定過的位置,保證了實(shí)驗(yàn)的可重復(fù)性和數(shù)據(jù)的可靠性。并且可以任意導(dǎo)入平面圖形,按照指定的路徑進(jìn)行復(fù)雜的掃描模式,滿足多樣化的研究需求。
中空顯微掃描平臺優(yōu)點(diǎn):
1.高精度與高穩(wěn)定性:采用制造工藝和優(yōu)質(zhì)的材料,確保了平臺在運(yùn)動過程中的精度和穩(wěn)定性。無論是直線電機(jī)驅(qū)動還是其他高精度的驅(qū)動方式,都能夠?qū)崿F(xiàn)微小位移下的準(zhǔn)確控制,為獲得清晰的微觀圖像提供了基礎(chǔ)。同時(shí),低噪音的特點(diǎn)也有助于減少外界干擾,提高實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性。
2.大承載能力:部分中空顯微掃描平臺具有較大的承載能力,能夠放置各種不同形狀、重量的樣品或設(shè)備,適應(yīng)多種實(shí)驗(yàn)場景的需求。這使得研究人員可以在同一平臺上對不同類型的樣品進(jìn)行分析,提高了設(shè)備的利用率和實(shí)驗(yàn)效率。
3.易于集成:一體化設(shè)計(jì)的中空顯微掃描平臺便于與其他儀器設(shè)備進(jìn)行集成,如顯微鏡、光譜儀等,構(gòu)建完整的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。它可以方便地與市面上大多數(shù)顯微鏡配合使用,并提供配套附件,降低了系統(tǒng)的搭建難度和成本。
4.靈活性高:提供多種行程和配置選擇,用戶可以根據(jù)具體的實(shí)驗(yàn)要求選擇合適的參數(shù),定制個性化的掃描方案。此外,還能夠?qū)崿F(xiàn)多種掃描模式和復(fù)雜的運(yùn)動軌跡,滿足不同研究領(lǐng)域的特殊需求。
5.中心通孔設(shè)計(jì)優(yōu)勢:獨(dú)特的中空結(jié)構(gòu)為中心留出了通道,方便光線透過或其他操作工具的介入,拓展了應(yīng)用場景。例如在一些需要進(jìn)行原位觀察或動態(tài)實(shí)驗(yàn)的情況下,可以通過這個中孔引入激光、氣體等物質(zhì),實(shí)現(xiàn)對樣品的特殊處理和實(shí)時(shí)監(jiān)測。